破除瓶頸實現(xiàn)自主 加速實現(xiàn)進口替代
10月16日，省重大產(chǎn)業(yè)項目——“徐州鑫晶半導體科技有限公司半導體大硅片項目”一期工程，經(jīng)過26個月的緊張施工建設(shè)，實現(xiàn)通線量產(chǎn)，填補了江蘇沒有大尺寸硅片生產(chǎn)的空白。實現(xiàn)量產(chǎn)后，徐州將成為我國最大的12英寸高端半導體材料生產(chǎn)基地之一。
最近一年來，鑫晶公司在省市各級黨委政府的關(guān)心支持下，大力發(fā)揚精益生產(chǎn)、持續(xù)創(chuàng)新、不斷超越的工匠精神，積極克服新冠肺炎疫情影響，先后攻克設(shè)備安裝、調(diào)試、試運行過程中的各種技術(shù)難關(guān)，成功實現(xiàn)12英寸半導體大硅片生產(chǎn)線貫通，并產(chǎn)出首批半導體硅片。
徐州鑫晶半導體科技有限公司董事長鄭加鎮(zhèn)博士在接受徐報融媒記者獨家采訪時說，鑫晶半導體公司克服了多重艱難險阻，才實現(xiàn)了投產(chǎn)，成果來之不易，主要得益于四個方面因素：一是國際化團隊的組建，目前鑫晶半導體公司建立了涵蓋技術(shù)、運營、管理和銷售，業(yè)內(nèi)最有經(jīng)驗的國際化團隊；二是資金投入有保證，半導體硅片技術(shù)壁壘高、項目資金投入大、回報期較長，項目建設(shè)以來，需要不斷依靠股東的投入以及金融機構(gòu)的支持，2018年12月鑫晶半導體大硅片項目獲江蘇省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)專項資金支持，被列為徐州老工業(yè)基地轉(zhuǎn)型升級的標桿項目；三是核心設(shè)備獲得國際授權(quán)，自主設(shè)備研發(fā)布局整個工藝流程，避免被人“卡脖子”；四是政府部門大力支持，6月29日，14位來自韓國、日本和德國專業(yè)進行設(shè)備調(diào)試的外籍技術(shù)人員乘坐包機抵達徐州，為徐州鑫晶半導體公司引進的設(shè)備進行安裝調(diào)試。
硅片是芯片制造的最關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，長期以來我國的12英寸大硅片基本依賴進口，而以美歐為主的國家在今年1月新修訂的“瓦森納約定”中針對14nm以下芯片制造所需的大硅片對中國進行出口管制，實際上就是制約我國的先進芯片制造技術(shù)。我國企業(yè)在12英寸硅片正片領(lǐng)域至今沒有大規(guī)模量產(chǎn)的企業(yè)，鑫晶半導體聚焦在28nm、14nm以及更先進的10nm芯片制造所需的硅片工藝研發(fā)和制造，目前試生產(chǎn)12英寸硅棒完美晶體良率已經(jīng)達到國內(nèi)領(lǐng)先水平，鑫晶大硅片的投產(chǎn)將有力支撐中國集成電路制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加快大硅片的國產(chǎn)化進程。
鄭加鎮(zhèn)說，目前鑫晶半導體一階段10萬片/月的產(chǎn)能全線貫通，徐州基地已經(jīng)建成廠房能夠容納60萬片/月的產(chǎn)能，按照公司規(guī)劃，一階段產(chǎn)品驗證全部通過后，2021年上半年開始繼續(xù)擴大產(chǎn)能，預計在2023年徐州基地60萬片/月產(chǎn)能可全部投產(chǎn)。公司長期規(guī)劃是在2025年前后通過自建或者收購等方式達到150萬片/月產(chǎn)能，發(fā)展目標是成為全球前三的半導體硅片企業(yè)。
來源：徐州日報
